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Application of holographic interferometry to misalignment measurements in packaging applications
全息干涉测量在包装应用中的未对准测量中的应用
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干涉测量 全息术 微电子 计算机科学 全息干涉法 过程(计算) 光子学 可靠性(半导体) 光学工程 重点(电信) 光学 电子工程 材料科学 光电子学 物理 工程类 电信 功率(物理) 量子力学 操作系统
网址
DOI
10.1117/12.841301 doi
其它 期刊:Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者:Vladimir V. Nikulin; Zhao Liu; Rahul Khandekar; J. J. Yermekbayeva; Azamat Amirov
出版日期:2010-02-01
求助人
DDDD 在 2025-03-11 14:24:47 发布自河南,悬赏 20 积分
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