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 Effect of a-C:H:Si interlayers on the mechanical and superlubricious properties of hydrogenated amorphous carbon films a-C：H：Si中间层对氢化非晶碳薄膜力学和超润滑性能的影响
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期刊：Thin Solid Films 作者：Chenxi Zhang; Wenli Deng; Jianxun Xu; Qingyuan Yu; Yinhui Wang; et al 出版日期：2022-04-30 |
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