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标题
Deposition techniques for thin film development in microelectronic devices
微电子器件中薄膜生长的沉积技术
相关领域
微电子 沉积（地质） 材料科学 薄膜 光电子学 计算机科学 纳米技术 工程物理 工程类 地质学 古生物学 沉积物
网址
https://doi.org/10.1063/5.0263418
DOI
10.1063/5.0263418 doi
其它 期刊：AIP conference proceedings
作者：Gazal Sharma; Sudhir Jugran; Shweta Bansal; Rajat Gera; Koteswara Rao Peta; et al
出版日期：2025-01-01
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翻滚的肉夹馍 在 2025-04-27 16:26:39 发布自上海，悬赏 10 积分
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