Studies on laser ablation of silicon using near IR picosecond and deep UV nanosecond lasers

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标题	Studies on laser ablation of silicon using near IR picosecond and deep UV nanosecond lasers 近红外皮秒和深紫外纳秒激光烧蚀硅的研究相关领域材料科学激光器准分子激光器通量光学纳秒烧蚀皮秒 X射线激光器激光烧蚀光电子学硅撞击坑激光功率缩放物理工程类航空航天工程天文
网址	https://doi.org/10.1016/j.optlaseng.2019.02.003
DOI	10.1016/j.optlaseng.2019.02.003 doi
其它	期刊：Optics and Lasers in Engineering 作者：Mohamed E. Shaheen; Joel E. Gagnon; Brian J. Fryer 出版日期：2019-02-18
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