标题 |
A novel approach for the patterning and high-volume production of sub-40-nm gates
亚40nm栅极图案化和大批量生产的新方法
相关领域
抵抗
逻辑门
材料科学
无定形固体
图层(电子)
电子工程
纳米技术
光电子学
工程类
化学
结晶学
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