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标题
Characteristics of a hybrid radio frequency capacitively and inductively coupled plasma using hydrogen gas
使用氢气的混合射频电容和电感耦合等离子体的特性
相关领域
感应耦合等离子体 容性耦合等离子体 等离子体 无线电频率 氢 材料科学 分析化学（期刊） 物理 化学 电信 计算机科学 环境化学 核物理学 量子力学
网址
https://doi.org/10.1116/5.0213602
DOI
10.1116/5.0213602 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena
作者：Yasunori Ohtsu; Tatsuo Tabaru; Julian Schulze
出版日期：2024-07-01
求助人
圆圆 在 2024-09-19 15:20:51 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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