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 Comparative evaluation of indirectly heated cathode DC ion source and inductively coupled plasma RF ion source for high current ion implanter 大电流离子注入机间接加热阴极直流离子源与电感耦合等离子体射频离子源的对比评价
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期刊：MRS Advances 作者：Jong Jin Hwang; Myoungsoo Choi; Taehwan Kim; Sungmook Jung; Sunghwa Lee; et al 出版日期：2023-01-11 |
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