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标题
Study on the Effect of Polishing Pad on Catalytic Composite Abrasive Clusters Friction Chemical Mechanical Polishing Single Crystal SiC Substrate
抛光垫对催化复合磨粒团簇摩擦化学机械抛光晶体SiC基片影响的研究
相关领域
材料科学 抛光 机械加工 磨料 复合材料 碳化硅 表面粗糙度 复合数 表面光洁度 化学机械平面化 研磨 扫描电子显微镜 冶金
网址
https://doi.org/10.1149/2162-8777/adad9e
DOI
10.1149/2162-8777/adad9e doi
其它 期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology
作者：Min Chang; Zhankui Wang; Yipeng Feng; Yihang Fan; Zhicheng Zhao; et al
出版日期：2025-01-23
求助人
感动的听荷 在 2025-03-20 10:46:49 发布自吉林，悬赏 10 积分
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