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标题
Controlling chemical segregation in EUV resists by varying viscosity and evaporation rate during the spin coating process
通过在旋涂过程中改变粘度和蒸发速率来控制EUV抗蚀剂中的化学偏析
相关领域
抵抗 极紫外光刻 材料科学 涂层 旋涂 平版印刷术 蒸发 光刻胶 化学反应 纳米技术 化学工程 化学 光电子学 有机化学 图层（电子） 热力学 物理 工程类
网址
https://doi.org/10.1117/12.3010930
DOI
10.1117/12.3010930 doi
其它 期刊：
作者：Eshan D. Thilakarathna; Jarron S. Maguire; Ashley J. Aldrin; Gregory H. Denbeaux; Robert L. Brainard
出版日期：2024-04-23
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美好斓 在 2025-03-26 16:15:28 发布自河南，悬赏 20 积分
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