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标题
Atomic layer deposition and other thin film deposition techniques: from principles to film properties
原子层沉积及其它薄膜沉积技术：从原理到薄膜性质
相关领域
材料科学 原子层沉积 沉积（地质） 薄膜 图层（电子） 逐层 工程物理 纳米技术 化学工程 工程类 沉积物 生物 古生物学
网址
https://doi.org/10.1016/j.jmrt.2022.10.064
AI链接 doi.org doaj.org osti.govdoi.org
DOI
10.1016/j.jmrt.2022.10.064 doi
其它 期刊：Journal of materials research and technology
作者：James A. Oke; Tien‐Chien Jen
出版日期：2022-11-01
求助人
Ren 在 2024-11-19 10:33:12 发布自福建，悬赏 10 积分
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