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 Electrostatic bonding of a silicon master to a glass wafer for plastic microchannel fabrication 用于塑料微通道制造的硅母版与玻璃晶片的静电键合
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期刊：Journal of Materials Processing Technology 作者：Junshan Liu; Chong Liu; Jihong Guo; Liding Wang 出版日期：2006-06-11 |
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