Electrostatic bonding of a silicon master to a glass wafer for plastic microchannel fabrication

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作者
Junshan Liu,Chong Liu,Jihong Guo,Liding Wang
出处
期刊:Journal of Materials Processing Technology [Elsevier]
卷期号:178 (1-3): 278-282 被引量:13
标识
DOI:10.1016/j.jmatprotec.2006.04.009
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