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标题
Novel photoacid generators for chemically amplified resists
用于化学放大抗蚀剂的新型光产酸剂
相关领域
热稳定性 溶解度 抵抗 材料科学 磺酸 辛烷值 溶解 化学 有机化学 高分子化学 图层(电子)
网址
DOI
10.1117/12.474281 doi
其它 期刊:Proceedings of SPIE
作者:Hitoshi Yamato; Toshikage Asakura; Akira Matsumoto; Masaki Ohwa
出版日期:2002-07-15
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