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[高分]
 Application of IBE etching process in EBAPS device IBE刻蚀工艺在EBAPS器件中的应用
相关领域
蚀刻（微加工）
材料科学
钝化
光电子学
表面粗糙度
光学
图像传感器
表面光洁度
次级电子
图层（电子）
纳米技术
电子
物理
复合材料
量子力学
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期刊： 作者：Huaiyun Fan; Hesheng Tan; Yaobin Li; Yongfa Dong; Shiqi Yang; et al 出版日期：2024-03-18 |
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