Improvement of leakage and fatigue properties of Hf0.5Zr0.5O2 thin film by embedding ultra-thin Al2O3 interlayer

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标题	Improvement of leakage and fatigue properties of Hf0.5Zr0.5O2 thin film by embedding ultra-thin Al2O3 interlayer 嵌入超薄Al2O3夹层改善Hf0.5Zr 0.5 O2薄膜的泄漏和疲劳性能相关领域材料科学泄漏（经济）图层（电子）原子层沉积薄膜铁电性复合材料光电子学分析化学（期刊）电介质纳米技术化学经济宏观经济学色谱法
网址	https://doi.org/10.1007/s10853-024-10527-5
DOI	10.1007/s10853-024-10527-5 doi
其它	期刊：Journal of Materials Science 作者：Dao Wang; Zihao Lu; Jianing Wang; Yabing Sun; Yan Zhang; et al 出版日期：2024-12-17
求助人	上上谦在 2025-02-21 20:41:48 发布自河北，悬赏 10 积分
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