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 Nonlinear dynamics of dual frequency capacitive discharges: a global model matched to an experiment 双频电容放电的非线性动力学：与实验匹配的全局模型
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期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Dennis Ziegler; Thomas Mussenbrock; Ralf Brinkmann 出版日期：2008-11-01 |
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