Modeling of Advanced FinFET Dummy Gate Corner Residue Impacted By Clogging

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标题	Modeling of Advanced FinFET Dummy Gate Corner Residue Impacted By Clogging 堵塞影响下先进FinFET虚拟栅角残余物的模拟相关领域堵塞残留物（化学）材料科学工程物理工程类地理化学考古生物化学
网址	http://dx.doi.org/10.1149/10404.0201ecst
DOI	10.1149/10404.0201ecst doi
求助人	半导体行业底层搬砖小白在 2023-10-20 15:44:43 发布自中国台湾，悬赏 10 积分
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