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标题
Selective ALD Mo Deposition in 10nm Contacts
10nm接触选择性ALD Mo沉积
相关领域
原子层沉积 材料科学 电介质 电迁移 沟槽 接触电阻 图层(电子) 沉积(地质) 堆栈(抽象数据类型) 氧化物 光电子学 抵抗 纳米技术 复合材料 冶金 计算机科学 古生物学 沉积物 生物 程序设计语言
网址
DOI
10.1109/IITC/MAM57687.2023.10154783 doi
求助人
翻滚的肉夹馍 在 2024-02-19 23:17:53 发布自美国,悬赏 10 积分
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