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Novel Method of Measuring the Thickness of Nanoscale Films Using Energy Dispersive X‐Ray Spectroscopy Line Scan Profiles
用能量色散X射线谱线扫描剖面测量纳米薄膜厚度的新方法
相关领域
材料科学
纳米尺度
薄膜
倾斜(摄像机)
光谱学
X射线光谱学
直线(几何图形)
能量色散X射线光谱学
投影(关系代数)
电子断层摄影术
透射电子显微镜
能量(信号处理)
扫描透射电子显微镜
光学
扫描电子显微镜
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期刊:Advanced Materials Interfaces 作者:Min‐Chul Kang; Jin‐Su Oh; Kyeong‐Youn Song; Hoo‐Jeong Lee; Hionsuck Baik; et al 出版日期:2022-02-02 |
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