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 Tunable Silicon-Germanium and Silicon Selective Etch in 5-Nanometer and Below Applications 5纳米及以下应用中的可调谐硅锗和硅选择性蚀刻
相关领域
硅
纳米
锗
材料科学
光电子学
混合硅激光器
硅锗
蚀刻（微加工）
纳米技术
工程物理
工程类
复合材料
图层（电子）
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| 其它 |
期刊： 作者：Chien-Pin Sherman Hsu 出版日期：2019-03-01 |
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