Chemical reaction on silicon carbide wafer (0 0 0 1 and 0 0 0 −1) with water molecules in nanoscale polishing

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标题	Chemical reaction on silicon carbide wafer (0 0 0 1 and 0 0 0 −1) with water molecules in nanoscale polishing 水分子在碳化硅晶片（0 0 0 1和0 0 0−1）纳米抛光中的化学反应相关领域薄脆饼抛光材料科学碳化硅化学机械平面化硅纳米尺度纳米- 无定形固体钻石分子化学工程化学反应机械加工纳米技术复合材料冶金化学结晶学有机化学工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2022.155090
DOI	10.1016/j.apsusc.2022.155090 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Zige Tian; Jing Lu; Qiufa Luo; Xipeng Xu 出版日期：2023-01-01
求助人	爱听歌婴在 2024-03-26 17:45:57 发布自陕西，悬赏 10 积分
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