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Correlation of failure mechanism of constant-current-stress and constant-voltage-stress breakdowns in ultrathin gate oxides of nMOSFETs by TEM
NMOSFET超薄栅氧化层恒流应力和恒压应力击穿失效机理的TEM关联
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期刊:Microelectronics Reliability 作者:K. L. Pey; Ching‐Hsuan Tung; M. Radhakrishnan; Lei Tang; Yuankun Sun; et al 出版日期:2003-09-01 |
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