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New mechanism of plasma induced damage on CMOS image sensor: Analysis and process optimization
CMOS图像传感器等离子体损伤新机制分析与工艺优化
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期刊:Solid-State Electronics 作者:J.-P. Carrere; J.-P. Oddou; S. Placé; C. Richard; Daniel L. Benoit; et al 出版日期:2011-07-25 |
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