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 Ultrasonic flexural vibration assisted chemical mechanical polishing for sapphire substrate 蓝宝石衬底超声弯曲振动辅助化学机械抛光
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期刊：Applied Surface Science 作者：Wenhu Xu; Xinchun Lu; Guoshun Pan; Yuanzhong Lei; Jianbin Luo 出版日期：2010-01-26 |
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