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![]() Triton X-100表面活性剂和搅拌对四甲基氢氧化铵湿法刻蚀微针制备的影响
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四甲基氢氧化铵
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者:Yu He; Wenhan Hu; Bo Cui 出版日期:2024-09-01 |
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