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 Electron Beam Probing of Active Advanced FinFET Circuit with Fin Level Resolution 具有鳍级分辨率的有源先进FinFET电路的电子束探测
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期刊：Proceedings - International Symposium for Testing and Failure Analysis 作者：Tom Tong; Hyun-Hee Ryu; Yih Wang; Wen-Hsien Chuang; Jennifer Huening; et al 出版日期：2018-11-01 |
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