The effect of target material concentration on EUV near 6.7nm and out-of-band radiation of laser-produced Gd plasma

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标题	The effect of target material concentration on EUV near 6.7nm and out-of-band radiation of laser-produced Gd plasma 靶材料浓度对激光产生的Gd等离子体6.7 nm附近EUV和带外辐射的影响相关领域极紫外光刻等离子体辐射激光器材料科学化学光学光电子学核物理学物理
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2024.113607
DOI	10.1016/j.vacuum.2024.113607 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Yibin Zhang; Yinping Dou; Zhuo Xie; Qijin Zhang; Zhilin Wen; et al 出版日期：2024-09-01
求助人	重要芝在 2024-10-18 16:43:21 发布自云南，悬赏 10 积分
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