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 MEMS piezoelectric bionic directional sound sensor based on ZnO thin film 基于ZnO薄膜的MEMS压电仿生定向声传感器
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期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：Qingqing Fan; Yuguang Zhai; Junhong Li; Yufeng Zhang; Jun Ma; et al 出版日期：2022-10-29 |
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