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Effect of subsurface damages in seed crystals on the crystal quality of 4H-SiC single crystals grown by the PVT technology
晶种亚表面损伤对PVT生长4H-SiC单晶质量的影响
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期刊:CrystEngComm 作者:Guofeng Li; Wei Hang; Jie Chen; Rong Wang; Xiaodong Pi; et al 出版日期:2024-01-01 |
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