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 Effect of subsurface damages in seed crystals on the crystal quality of 4H-SiC single crystals grown by the PVT technology 晶种亚表面损伤对PVT生长4H-SiC单晶质量的影响
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期刊：CrystEngComm 作者：Guofeng Li; Wei Hang; Jie Chen; Rong Wang; Xiaodong Pi; et al 出版日期：2024-01-01 |
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