| 标题 |
 Atomic layer etching of titanium nitride with surface modification by Cl radicals and rapid thermal annealing 氯自由基表面改性和快速热处理的钛原子层腐蚀
相关领域
锡
氮化钛
退火（玻璃）
X射线光电子能谱
材料科学
钛
无定形固体
表面改性
氮化物
分析化学（期刊）
蚀刻（微加工）
化学工程
图层（电子）
纳米技术
化学
复合材料
冶金
结晶学
有机化学
工程类
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Nobuya Miyoshi; Nicholas McDowell; Hiroyuki Kobayashi 出版日期：2022-04-05 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
爱静静
寻道图强
乐乐乐乐乐乐
Frank
kento
yyymmma
樱桃猴子
fendy
Billy
timemaster666
浅尝离白
吃不饱星球球长
万能图书馆
共享精神
shinysparrow
清脆松
tuanheqi
sissiarno
香蕉觅云
Singularity
皖公网安备34019202002308
