标题 |
In-plane acoustic reflectors for reducing effective anchor loss in lateral–extensional MEMS resonators
用于降低横向延伸MEMS谐振器中有效锚定损耗的面内声反射器
相关领域
谐振器
微电子机械系统
声学
材料科学
外延定义
平面(几何)
光学
光电子学
物理
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几何学
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其它 |
期刊:Journal of Micromechanics and Microengineering 作者:Brandon P. Harrington; Reza Abdolvand 出版日期:2011-07-12 |
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