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 NUMERICAL SIMULATION OF THE PECVD REACTOR FOR THE SOLAR CELLS AND THE GREEN ENERGY 太阳能电池PECVD反应器与绿色能源的数值模拟
相关领域
等离子体增强化学气相沉积
计算机模拟
太阳能
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期刊：International Multidisciplinary Scientific GeoConference SGEM ... 作者：Mikhail Lavrentiev; Alexey Snytnikov 出版日期：2020-12-20 |
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