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 Hybrid micro-grinding process for manufacturing meso/micro-structures on monocrystalline silicon 在单晶硅上制造细观/微观结构的混合微研磨工艺
相关领域
研磨
材料科学
单晶硅
机械加工
金刚石研磨
金刚石工具
过程（计算）
硅
砂轮
冶金
金刚石车削
计算机科学
操作系统
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| 其它 |
期刊：Materials and Manufacturing Processes 作者：Li Wei; Qidi Chen; Yinghui Ren; Yi Jiao; Ahmed Mohamed Mahmoud Ibrahim 出版日期：2020-09-03 |
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