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标题
Silicon Corrosion during Selective Silicon Nitride Etch with Hot Diluted Hydrofluoric Acid
用热稀氢氟酸选择性蚀刻氮化硅时的硅腐蚀
相关领域
氢氟酸 材料科学 腐蚀 氮化硅 浅沟隔离 硅 蚀刻（微加工） 氧化物 氮化物 氧气 冶金 无机化学 沟槽 纳米技术 图层（电子） 化学 有机化学
网址
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/ssp.314.107
DOI
10.4028/www.scientific.net/ssp.314.107 doi
其它 期刊：Diffusion and defect data, solid state data. Part B, Solid state phenomena/Solid state phenomena
作者：Philippe Garnier; Thomas Massin; Corentin Chatelet; Emmanuel Oghdayan; Jeffrey M. Lauerhaas; et al
出版日期：2021-02-01
求助人
hehehe 在 2024-12-02 16:51:54 发布自江苏，悬赏 30 积分
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