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 Impact of Ferroelectric Layer Thickness on Reliability of Back‐End‐of‐Line‐Compatible Hafnium Zirconium Oxide Films 铁电层厚度对后端兼容铪锆氧化物薄膜可靠性的影响
相关领域
材料科学
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期刊：Advanced Engineering Materials 作者：Ayse Sünbül; David Lehninger; Raik Hoffmann; Ricardo Olivo; Aditya Prabhu; et al 出版日期：2022-09-28 |
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