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标题
Eliminate the vibration defect for laser interference lithography using an optical chopper system
利用光学斩波系统消除激光干涉光刻的振动缺陷
相关领域
斩波器 振动 材料科学 光学 平版印刷术 栅栏 无光罩微影 光子学 光电子学 声学 物理 抵抗 纳米技术 电子束光刻 图层（电子） 量子力学 电压
网址
https://doi.org/10.1117/12.2257865
DOI
10.1117/12.2257865 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：Yin-Kuang Yang; Hsuan-Ying Mai; Te-Hsun Lin; Yu-Hua Dzeng; Chien‐Chung Fu
出版日期：2017-03-18
求助人
LIU 在 2025-03-13 14:20:41 发布自上海，悬赏 20 积分
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