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 Highly selective dry etching of polystyrene-poly(methyl methacrylate) block copolymer by gas pulsing carbon monoxide-based plasmas 气体脉冲一氧化碳基等离子体对聚苯乙烯——聚甲基丙烯酸甲酯嵌段共聚物的高选择性干法刻蚀
相关领域
共聚物
聚苯乙烯
一氧化碳
甲基丙烯酸甲酯
材料科学
高分子化学
蚀刻（微加工）
等离子体
甲基丙烯酸酯
化学工程
碳纤维
复合材料
聚合物
化学
有机化学
催化作用
工程类
物理
复合数
量子力学
图层（电子）
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期刊：Journal of physics. D, Applied physics 作者：Hiroyuki Miyazoe; Ashish V. Jagtiani; Hsinyu Tsai; Sebastian Engelmann; Eric Joseph 出版日期：2017-04-21 |
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