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 71.1: High Throughput and Scalable Spatial Atomic Layer Deposition of Al2O3 as a Moisture Barrier for Flexible OLED Display 71.1：作为柔性OLED显示器防潮层的Al2O3的高通量和可扩展空间原子层沉积
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期刊：SID Symposium Digest of Technical Papers 作者：Hagyoung Choi; Seokyooon Shin; Yonghyuk Choi; Yeongtae Choi; Junghun Kim; et al 出版日期：2015-07-30 |
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