Effect of modulation period on microstructure and mechanical properties of (AlSiTiVNbCr)N/(AlSiTiVNbCr)CN nano-multilayer films

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标题	Effect of modulation period on microstructure and mechanical properties of (AlSiTiVNbCr)N/(AlSiTiVNbCr)CN nano-multilayer films 调制周期对（AlSiTiVNbCr）N/（AlSiTiVNbCr）CN纳米多层膜微观结构和力学性能的影响相关领域材料科学微观结构高分辨率透射电子显微镜透射电子显微镜扫描电子显微镜复合材料粒度衍射纳米- 弹性模量纳米压痕分析化学（期刊）溅射沉积电子衍射选区衍射薄膜溅射光学纳米技术化学物理色谱法
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2022.111660
DOI	10.1016/j.vacuum.2022.111660 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Wenting Shao; WU Shang-kun; Wei Yang; Jiahua He; Shuaidan Lu; et al 出版日期：2022-11-11
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