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Nanosecond-laser hyperdoping of intrinsic silicon to modify its electrical and optical properties
纳秒激光超掺杂本征硅以改变其电学和光学性质
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期刊:Optics & Laser Technology 作者:Guoying Dong; Huihuang Yang; S.J. Zeng; Zhenqi Shi; Y.J. Ma; et al 出版日期:2023-04-25 |
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