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 Study of the Influence of the Energy of Argon Ions on the Surface Roughness of the Main Sections of Single-Crystal Silicon 氩离子能量对单晶硅主要截面表面粗糙度影响的研究
相关领域
材料科学
氩
硅
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期刊：Technical Physics 作者：M. S. Mikhailenko; А. Е. Пестов; A. K. Chernyshev; М. V. Zorina; Н. И. Чхало; et al 出版日期：2024-04-01 |
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