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Study of the Influence of the Energy of Argon Ions on the Surface Roughness of the Main Sections of Single-Crystal Silicon

材料科学 氩 硅 离子 表面粗糙度 Crystal（编程语言） 单晶 能量（信号处理） 表面光洁度 原子物理学 光电子学 复合材料 结晶学 计算机科学 化学 物理 有机化学 量子力学 程序设计语言
作者
M. S. Mikhailenko,А. Е. Пестов,A. K. Chernyshev,М. V. Zorina,Н. И. Чхало,N. N. Salaschenko
出处
期刊：Technical Physics [Springer Nature]
日期：2024-04-01 卷期号：69 (4): 959-963
标识
DOI：10.1134/s1063784224030265
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