Design and optimization of top-Gaussian illumination field in photolithography - 科研通

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标题	Design and optimization of top-Gaussian illumination field in photolithography 光刻中高斯照明场的设计与优化相关领域光刻高斯分布光学微透镜计算机科学维数（图论）领域（数学）能量（信号处理）临界尺寸算法数学物理镜头（地质）统计量子力学纯数学
网址	https://doi.org/10.1117/1.oe.60.2.025106
DOI	10.1117/1.oe.60.2.025106 doi
其它	期刊：Optical Engineering 作者：Xinwen Ma; Fang Zhang; Zhiyuan Niu; Huijie Huang 出版日期：2021-02-26
求助人	雷老板在 2024-03-02 10:37:14 发布自上海，悬赏 20 积分
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