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Low temperature growth of single-phase and preferentially oriented ɛ-Ga2O3 films on sapphire substrates via atomic layer deposition
原子层沉积法在蓝宝石衬底上低温生长单相择优取向ɛ-Ga2O3薄膜
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者:Xiangtai Liu; Jiayang Wang; Lu Jin; Jiao Fu; Qin Lu; et al 出版日期:2024-12-09 |
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