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Metal‐Organic Chemical Vapor Deposition of Aluminum Scandium Nitride
金属有机化学气相沉积氮化铝钪
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钪
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期刊:Physica Status Solidi (rrl) 作者:Stefano Leone; Jana Ligl; Christian Manz; Lutz Kirste; Theodor Fuchs; et al 出版日期:2019-11-07 |
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