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 Metal‐Organic Chemical Vapor Deposition of Aluminum Scandium Nitride 金属有机化学气相沉积氮化铝钪
相关领域
钪
金属有机气相外延
化学气相沉积
外延
纤锌矿晶体结构
氮化物
材料科学
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异质结
分子束外延
高电子迁移率晶体管
三元运算
冶金
晶体管
纳米技术
锌
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电压
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图层（电子）
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期刊：Physica Status Solidi (rrl) 作者：Stefano Leone; Jana Ligl; Christian Manz; Lutz Kirste; Theodor Fuchs; et al 出版日期：2019-11-07 |
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