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 Characterization of radical-enhanced atomic layer deposition process based on microwave surface wave generated plasma 基于微波表面波产生等离子体的自由基增强原子层沉积过程的表征
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：Drahoslav Tvarog; J. Olejníček; Jiří Kratochvíl; P. Kšírová; A. Poruba; et al 出版日期：2021-07-01 |
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