Microwave hydrogen plasma etching on the laser-cut surface of single crystal diamond: Phases, etching morphology, stress evolution and the effect of etching on the subsequent homoepitaxial growth

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标题	Microwave hydrogen plasma etching on the laser-cut surface of single crystal diamond: Phases, etching morphology, stress evolution and the effect of etching on the subsequent homoepitaxial growth 单晶金刚石激光切割表面的微波氢等离子体刻蚀：相、刻蚀形貌、应力演化及其对后续同质外延生长的影响相关领域蚀刻（微加工）材料科学钻石反应离子刻蚀形态学（生物学）等离子体刻蚀微波食品加热各向同性腐蚀激光器干法蚀刻氢光电子学纳米技术人造金刚石 Crystal（编程语言）单晶复合材料光学化学结晶学地质学古生物学物理有机化学图层（电子）量子力学计算机科学程序设计语言
网址	https://doi.org/10.1016/j.diamond.2024.110937
DOI	10.1016/j.diamond.2024.110937 doi
其它	期刊：Diamond and Related Materials 作者：Yongning Wei; Jie Gao; Zheng Ke; Yong Ma; Jiaqi Zhi; et al 出版日期：2024-02-23
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