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标题
Integrated atomic scale CD control and local variability reduction techniques
集成原子尺度CD控制和局部变率降低技术
相关领域
可控性 蚀刻（微加工） 比例（比率） 还原（数学） 临界尺寸 表面光洁度 GSM演进的增强数据速率 制作 过程控制 边距（机器学习） 计算机科学 原子单位 过程（计算） 直线（几何图形） 纳米技术 光电子学 材料科学 物理 光学 数学 几何学 电信 图层（电子） 替代医学 复合材料 病理 机器学习 操作系统 医学 量子力学 应用数学
网址
https://doi.org/10.1117/12.2513832
DOI
10.1117/12.2513832 doi
其它 期刊：
作者：Toru Hisamatsu; Takayuki Katsunuma; Yoshihide Kihara; Masanobu Honda
出版日期：2019-03-18
求助人
雷老板 在 2025-02-04 22:07:18 发布自江苏，悬赏 20 积分
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