A survey on the mechanical design for piezo-actuated compliant micro-positioning stages

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标题	A survey on the mechanical design for piezo-actuated compliant micro-positioning stages 压电柔性微定位平台机械设计综述相关领域顺应机制执行机构计算机科学航空航天自动化机械工程钥匙（锁）精密工程润滑机器人学光学（聚焦）控制工程机器人材料科学纳米技术航空航天工程工程类人工智能有限元法小型化光学物理结构工程计算机安全
网址	https://doi.org/10.1063/5.0162246
DOI	10.1063/5.0162246 doi
其它	期刊：Review of Scientific Instruments 作者：Bingxiao Ding; Liang Xuan; Chenglin Li; Yangmin Li; Shih‐Chi Chen 出版日期：2023-10-01
求助人	轩辕乌在 2024-09-20 20:49:43 发布自陕西，悬赏 10 积分
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