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Fabrication of high-quality amorphous silicon film from cyclopentasilane by vapor deposition between two parallel substrates
平行衬底间气相沉积环戊硅烷制备高质量非晶硅薄膜
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期刊:Chemical Communications 作者:Zhongrong Shen; Takashi Masuda; Hideyuki Takagishi; Keisuke Ohdaira; Tatsuya Shimoda 出版日期:2015-01-01 |
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